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NXQ8000系列掩膜曝光機可在多種領域中應用

更新時間:2019-04-26      點擊次數:1812
   NXQ8000系列掩膜曝光機可在多種領域中應用
  NXQ8000系列掩膜曝光機全面滿足科學研究,工藝級生產等多領域的應用。*采用非接觸式100%標定系統,對晶圓和掩膜沒有傷害,大大提高間隙精度
  非接觸式掩膜對準機maskaligner適合各種電子元器件,包括半導體,LED,LD,MEMS,傳感器等。
  NXQ8000系列掩膜曝光機主要是用于光刻膠曝光。光刻膠也稱為光致抗蝕劑,是一種光敏材料,它受到光照后特性會發生改變。光刻膠主要用來將光刻掩膜版上的圖形轉移到晶圓片上。
  光刻膠有正膠和負膠之分。正膠經過曝光后,受到光照的部分變得容易溶解,經過顯影后被溶解,只留下未受光照的部分形成圖形而負膠卻恰恰相反,經過曝光后,受到光照的部分會變得不易溶解,經過顯影后,留下光照部分形成圖形。負膠在光刻工藝上應用早,其工藝成本低、產量高,但由于它吸收顯影液后會膨脹,導致其分辨率(即光刻工藝中所能開誠小圖形》不如正膠,因此對于亞微米甚至更小尺寸的加工技術,主要使用正膠作為光刻膠。
  NXQ8000系列掩膜曝光機的清潔
  所有石英燈管在封裝運輸前都會經過精心的清潔步驟。如果小心處理,(例如:燈管主體沒有指紋),當打開包裝時即可使用。如果用雙手直接接觸燈管,則應用脫離子水或工業酒精稍稍浸濕紙巾,仔細擦拭燈管,再用干燥紙巾重新將燈管擦干。根據需要,還應定期清潔燈管及反射罩。尤其在當燈管表面沾有其它附著物時更應進行清潔。如果不能及時處理,將導致燈管過早失去透明性并會影響其工作效果。
  以上便是今天關于NXQ8000系列掩膜曝光機可在多種領域中應用的全部分享了,希望對大家今后使用本設備能有幫助。
 
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