1.汞燈位置調節

　　汞燈位置調節在換燈后或燈位置變動時會改變照明的均勻性和照明的光強，這時調節三維燈座臺，使汞燈球體位于橢球鏡的焦點上，這時照明強度大，均勻性好。

　　2.NXQ4006光刻機的開機準備

　?。?）.供給機器的電源配電插座應有220伏的供電能力，在總電源插頭插上后，機柜已通電。

　?。?）.開啟空氣壓縮機和真空泵，要求：供氣壓力大于0.4Mpa（表壓）,真空度高于-0.06Mpa。

　　3．開機正常工作時，先按“汞燈電源”紅色按鈕，啟輝汞燈，如其指示燈亮，但汞燈未點燃（也屬正常），可再按“觸發”按鈕，將汞燈點燃。汞燈點燃30分鐘后才能穩定。按下“控制電源”紅色按鈕，控制電源打開，幾秒鐘后面板上的“復位”鍵指示燈亮，曝光時間顯示默認值“0060.0”，表明控制系統工作正常。

　　4．上片將樣片放到承片臺上，打開“小硅片”氣動開關(對于4寸片，還需打開“大硅片”)氣動開關，樣片被吸緊，反時針旋轉曝光間隙調節手輪，使樣片低于掩模面；將掩模放到掩模吸盤上，按“掩模”按鈕（指示燈亮），掩模被吸緊。

　　5．調平按“氣浮”按鈕（指示燈亮），球氣浮吹氣，順時針旋曝光間隙調節手輪直至樣片與掩模貼緊，再按“氣浮”按鈕（指示燈滅），球氣浮被鎖緊，樣片被調平，在球氣浮被鎖緊的過程中掩模和樣片間會分離一定的間隙，可直接進行對準。

　　6．曝光時間設定按下“設定”鍵，指示燈亮，同時曝光時間（或劑量）顯示的百位數字閃爍，可按“+”“-”鍵對曝光時間的位數調整，調整好后，再次、按設定（SET）鍵可進行下一位數字調整，當調整完后一位時，再按“設定”鍵，退出“時間—劑量”設定，按“時間”或“劑量”鍵，可進行曝光操作（或定劑量曝光）。

　　曝光過程中，顯示窗顯示曝光狀態的。

　　7．對準調節

　　7.1顯微鏡對準一般來說調平完成被鎖緊后（關“氣浮”，掩模和樣片間存在一定的）間隙，可直接進行對準，但如果調平頂緊的力過大或過小，則調平完成被鎖緊后，對準間隙可能過大或過小，這種情況下，可旋轉調焦手輪，調節出合適的對準間隙—即保證掩模和樣片的對準標記都能成清晰像，且作對準運動時掩模和樣片不摩擦（掩模和樣片不一起運動）。

　　對準臺分三部分，下層為整體運動臺（樣片和掩模一起作整體運動，能保證掩模和樣片對準標記進入到顯微鏡的視場內，也可用于增大曝光面積）；中心為轉動，調節旋轉手輪可使承片臺相對掩模旋轉；上層為相對運動臺，旋轉其手輪，可使掩模相對于樣片作X、Y對準運動。對準顯微鏡的使用見“顯微鏡使用說明書”。

　　7.2CCD對準調平完成后首先分離出合適的對準間隙。

　　對于薄膠：其操作基本和顯微鏡對準一樣，所不同的是其觀察是通過計算機監視器。

　　對于厚膠：首先移動整體運動臺，掩模對準標記進入到CCD對準系統的測量視場內（好兩個標記基本都位于CCD視場的中心），通過計算機采集掩模對準標記的像并保存。調焦，使樣片對準標記在計算機監視器上成清晰像，調節對準手輪（作掩模和樣片相對運動X、Y、θ），使樣片對準標記與保存的掩模對準標記的像相一致。

　　8．關機關機的順序和開機相反，先關掉控制系統電源，再關掉汞燈電源。

　　9．操作警告

　　不要在控制系統工作的情況下啟輝汞燈，以免損壞電氣系統。

　　操作過程中出現控制紊亂或死機，按面板上“復位”鍵，幾秒鐘后，系統重新復位。

　　汞燈要及時更換，以免出現其他事故。汞燈的壽命一般為200-300小時。一般說來，如汞燈位置處于好的狀態，可變光欄又開到z大位置，而照明面的光強（365nm）小于7mW/cm2，則必須更換汞燈。

　　以上便是今天關于集結號：NXQ4006光刻機的操作步驟及工作過程的全部分享了，希望對大家今后使用本設備能有幫助。