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詳細介紹
POLOS 450 Advanced
德國進口 SPS勻膠機 POLOS SPIN COATER®Advanced系列旋轉處理器是先進的系統，提供精確和可重復的工藝控制。一個空氣動力學效率高的腔室提高了均勻性，而天然聚丙烯工藝腔室保證了無污染、易于清潔的工藝區域。所有單元都具有可編程的CW和CCW旋轉以及puddle交換擺動功能。
德國進口 SPS勻膠機 POLOS SPIN COATER@ 450 Advanced是一款桌面型單基板旋轉器，配有NPP外殼、旋轉杯和手動化學分配器。適用于直徑最大為500毫米的圓形基板和350x350毫米的方形基板。
專為半導體、光伏、MEMS及納米材料領域設計，適用于多種基材的涂覆加工，性能可靠，適配嚴苛工藝要求。
一．特點：
自動順序或并行化學分配；
最多6個噴嘴，每個均可獨立編程；
二．適用工藝范圍
涂覆（Coating）
清洗（Cleaning）
沖洗/干燥（Rinse/Dry）
顯影（Developing）
蝕刻（Etching）
PDMI及其他特殊工藝
三．配置
外殼材料 | 天然聚丙烯(NPP) |
腔室材料 | 天然聚丙烯(NPP)或高化學耐性的聚四氟乙烯(TFM™) |
旋轉速度 RPM | 0-1500rpm |
旋轉速度準確性 | ± 0.1 rpm |
旋轉方向 | 正轉、反轉、Puddle交換擺動 |
最大加速度 | ≤1500 rpm/s取決于負載** |
自由編程輸出端口 | 3個干式繼電器，額定開關容量0.5A/125V交流電 / 0.3A/60V直流電 |
最大樣片尺寸 | 直徑460mm圓片和350x350mm方片 |
腔室直徑 | 502mm |
外形尺寸 | 795 (w)x638 (h)x922 (d)mm |
氣體 | 20 - 50 kPa. Tube OD ? 6mm 500 L/hr |
排水 | 1.5" M-NPT |
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